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射頻電源
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輸出功率 |
150W |
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輸出精度 |
±1% |
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射頻頻率 |
13.56MHz |
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射頻穩定度 |
±0.005% |
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冷卻方式 |
風冷 |
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1200℃單溫區管式爐 |
供電電壓 |
AC220V，50Hz |
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*大功率 |
2KW |
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加熱溫區 |
單個溫區200mm |
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工作溫度 |
*高1200℃，連續運行溫度應≤1100℃ |
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控溫精度 |
±1℃ |
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控溫方式 |
AI-PID 30段工藝曲線，可存儲多條 三溫區獨立控制，帶有過熱和斷偶保護 |
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爐管材質 |
高純石英 |
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爐管尺寸 |
φ50x800mm |
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密封方式 |
真空不銹鋼法蘭、KF16法蘭 |
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可調轉速 |
0-20rpm |
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傾斜角度 |
0-15° |
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真空泵 |
旋片機械泵 |
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極限真空度 |
1.0E-1Pa |
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進料方式 |
真空漏斗加螺桿進料 |
